��ϸ���弼���Ǵ�20����70������չ�����ģ�����Ϊ�����о��ص���һ���¼������Գ�ϸ�������������ϸ���ͳһ���塣(zheng)Ŀǰ����������С��3um�ķ�����Ϊ��ϸ���壬(ren)������ͨ����������100%С��30Um�ķ���Ϊ��ϸ���塣(zheng)��ϸ����ͨ���ַ�Ϊ�����������������塣ͨ����������1um�ķ�����Ϊ�ײ��ϣ�����С��1um����0.1um�ķ�����Ϊ���ײ��ϣ���������0.001��0.1um������Ϊ���ײ��ϡ���ϸ������������ϸ���������ȶ����бȱ������������Ըߡ���ѧ��Ӧ�ٶȿ졢�ܽ��ٶȿ��Լ����صĵ��ԡ����ԡ���ѧ�ԣ������㷺Ӧ���ڻ���������������ҽҩ�����﹤�̵ȷ��檔���磬Ϳ�������ӳ�ϸ���壬(ren)�ر������������������ڱ����������ߺͽ������Ը��ƣ���ʹճ�����������Լ��������������ܶ���Ϊ���ߡ�

2�������������������Ĺ���ԭ������ȫ����
Ŀǰʹ�ó�����������������������ϸ������һ�ֳ��õķ�ʽ����ʹ�ù��̴��������లȫ���⣬��û�������㹻(wo)�����ӣ������ڲ�����Ա�����������밲ȫ�����ˣ��б�Ҫ�˽��乤��ԭ�����ҳ���ȫ���������뿪չ��ȫ��������������
�����������������Ĺ���ԭ����ͨ����װ�ڷ�������Χ�ij��������죬����ѹ��������ѹ���ܣ��ڷ��������γɸ��������켣�����ֳ���������������ʹ�����ܵ�ײ�������С�ѹ�����������ã����廥������������Ħ��������Ӧ���������ӱ�������Ӧ��ʱ�����ܴﵽ������Ŀ�ġ��ڷ������ڻ����������������ã��ܴﵽ�����ּ������á����ݳ��������������������Ĺ���ԭ����ʵ�ʵIJ������飬(juan)���������������漰������Ҫ��ȫ�������Ƿ۳�Σ����������������͵�����ͨ���������Ȱ�ȫ���⡣���IJ�����̽�ַ۳��İ�ȫ�����⡣
2.1 ��ϸ������Σ��
��ʯӢ���������������ֲ�ͼ��ͼ1��ͼ2�����Կ����������������������ķ��鼫(shi)����0.5um���ң������й�������ʾ�Ľ�����������3I����ԭ��Ϊ�����������Ƿ��������������������ڲ�ȱ����չ�Ľ������ڷ����Ŀ�ʼ�Σ������ڲ�ԭ�е�������Ӧ����������չ�����Ƴߴ��ϴ��������ٽ�Ӧ����С������Ч����Ϊ���ԡ����ŷ������̵Ľ��У���������Խ��Խϸ�������ڲ������ƻ��ṹȱ��Խ��ԽС����ʹ������չ������Ӧ��Խ��Խ�����Ѷ����ӣ�����Ч�ʽ��ͣ�����ϸ�����ƴӶ��ﵽ���ޡ�
��Щ��ϸ�۳����ȴ�С��Ũ�ȶ��ٲ�ͬ���ں���ϵͳ����λ�������ٶȡ���λҲ������ͬ��һ��ֱ����100um���ϵij����ܿ��ڿ����г������������彡(shan)����10um���ϵij����������ں�����֮�⣬5um��10um�ij���ͨ����ǻ�����ܡ��Ϻ�����ʱ���ֱ���Щ���ܵĺ�ë�ͷ���ճҺ�������������ԡ������ȱ����Է������ų���С��5um�ij������������������ڷ����У�����0.4um���µķ۳������ں���ʱ�ų������۳�Խϸ���ڿ�����ͣ����ʱ��Խ�����������Ļ�����Խ�ࡣ�۳�Խϸ����������Խ�����������ڵĻ�ѧ�Խǿ���Էε���ά������Խ���ԡ�ͬʱ��ϸ�۳����к�ǿ�������������ڷ۳���Χ�����к����塢(wu)Һ���ͽ���Ԫ�أ�������������ϸ�۳��϶��������β����Ӷ��ٽ����Ի����Լ����ķ�������ͼ1��ͼ2�����Կ����������������������������õķ۳�������5um���»�����Ϊ100%����5um���µķ۳���������Σ�����������ˣ�ʹ�ó�������������������������������ְҵ���ļ��ʻ��������ӡ�
���Σ��۳�����ģ��ɢ���ڿ������γɷ۳��ƺ��п��ܷ����۳���ը����Ϊ����������������������������δ�����ķ۳����Ӿ��к��ʵ������ͷֲ�״̬��һ������С��5um���ڿ����еķ�ɢ�ȶ��Ժã����״ﵽ��ը���ޡ���������Щ������Χ���㹻(wo)��ȼ���������߱�����С�����ܣ���ô���������۳���ը�����ң��ɾֲ��۳��Ʊ�ը�����ij�����ʹ�����ij����۳����ﲢ���������ϣ����п����γɶ��α�ը�����ڷ۳���ը�������������ƻ����أ�����ʱ���̣�������������ȫȼ�գ���������һ����̼����ʹ��Ա�ж������ˣ��۳���ը�ĺ���Ҳ�Ǽ������صġ�
2.2����������ϸ�۳�
���ݰ�ȫϵͳ���̵����ۣ�Ӧ�ô��˻����� ���������ǶȽ����ۺ����������ȴ����Ͽ��ǣ�Ҫѡ�����ʵĹ��˳����豸������Ҫ��ȡ���ʵķ�����ʩ��ͬʱҲҪʵʩ��Ҫ�Ĺ�����ʩ��ȷ�������ߵĽ�����ȫ�����������¹ʵķ�����
2.2.1 ���˳����豸
(1)��������ȷ������ʵ�ʵIJ��������У�ʹ����ͨ�Ĵ�ʽ���������������������⣺��ϸ��ĩ����֯����϶���������࣬���ս�����ͨ����ס�˴֣����¹ܵ�����ѹ̫��ͷ�����ַ۳�й¶�����䣬�����ڻ�е���������У����ֳ����ڲ����ϵij�ϸ������ͨ������ɢ���ڿ����С����ˣ������������и��ƣ����߲��ø��õij����������Գ��������������������ĺ����Է۳���������ĭ������������ʪ�����������������������������ϴ�ʽ�������۵�ʽ���������������ྲ������������Ч���Ϻá�����Щ������Ҫô���������������죬Ҫô�۸����Է۳���ը���˲���ʪ���������������Լ��ٲ�����ϸ�ķ۳�й¶������ͨ��ˮ�������ڸ�����ʹ��Ũ�Ƚ��ͣ������Խ��ͷ۳������ܣ��Ӷ����ͷ����۳���ը�ĸ��ʡ��Ӽ۸��Ͽ��ǣ�Ӧ����ʪ���������ӳ������������ܿ���Ӧ�������ϳ�����ʽ���ۺ����ϸ����棬(quan)���Գ������������������Ƴ��ij����豸Ϊ��ˮԡʽʪ����������ͨ�˴����������ϵ����ϳ���������ͨ����Դ�������۽ոѷ��������ոѿ������Ȼ�е�豸��
(2)ԭ������������������������������й¶�ķ۳�����װ��һ��ˮλ��ˮ���ڡ�ˮ���������ɵ綯������������ת�Ľ�������һ���棬����Ҷ�ָ���ת���������ĺ�������������С���ݺ�ˮ���ֻ��ͣ�ʹ�����еķ۳������и���������ײ��������������ˮ���Ӷ��ﵽ����Ŀ�ģ���һ���棬(quan)������ת��ҶƬ�����������γɸ�ѹ�����²㸺(sha)ѹ�������ں�������˳���������ڣ��ϲ㸺ѹ���ٽ�Ҷ���ϲ�Һ��������ѭ����ǿ����Һ���ϳ��������Ҿ�ˮԡʪ�������ķ۳�������ͨ����ͨ�˴������ˣ�ʹ�����еIJг��õ���һ��������
(3)�������ij���Ч�ʼ�������Ӱ�������У���Я���۳��������ٶȶԳ�����Ч�ʺ�����Ӱ���ܴ��������ٶ�̫С���ܵ�ˮ������С���۳���������ˮ���ڻ���ʱ���ϳ�������������Ч�ʽϸߣ�������̫���������ٶ�̫������������ˮ�������ϴ���ͨ��ˮ��ʱ�����Խ϶̣�����������Ч���������ͣ����������̣��ڲ�����������ת�ٺ�ҶƬ��ˮ���ȶԳ���Ч��Ҳ��Ӱ�졣ת��Խ����Ч��Խ�ߡ�ҶƬ��ˮ���Ƚӽ��۳���������ʱ������Ч��Ҫ�ߣ���ˮλԽ�����Ч��Խ�ߣ�������ҲԽ�������ˣ���ˮλ���ȵ�ѡ����Ҫ���ݷ۳������ķ����ͷ�ѹ�����е��ڡ�һ�㣬���������������������ṩ�������ҵ�ѹ��Ϊ0. 8MPa���ң�й¶���ķ۳�����ѹ��ʬ���ٴ�15%����0. 12MPa��Ϊ�˷۳������ܹ�˳�������������У�ˮ���ڵ�ˮѹP,���Լ�����ѹPo��Ҫ������ϵʽ��Pl+P��<P�����ݹ�ϵʽ���Դ��¼�����ˮλ����h����������Ϊh<2m�����ˣ�ֻҪˮλ����С��2m���۳��������ܹ�˳��ͨ������������ˮ�۵Ľ�����Խ����Ч�ʻ��������ߣ�����������ˮ��Ч�����ԡ�
2.2.2 ������ʩ
�����Է۳��ܹ��ϳ�ʱ����������ҵ���������У�������ԽС���ڿ����е��ȶ���Խ�ߣ�����Խ�־ã������Ļ���Խ�࣬�������������ɳ���ְҵ�����Ժ����Է۳��ķ��γ����ó����豸�����⣬��������Ҳͬ����Ҫ�����ھ��õȷ�����ԭ���ڸ���������ʩ��Ҫ���������֡����ֵĺ��������ϣ������Է۳�ͨ������ʱ����Ҫ��ͨ����ɢ�����Գ��������趙(zhao)��ճ������������Ϊ��С�ij��������ܵ��������ӵ�ײ�������������IJ����˶�������ԽС����ɢ�ƶ�����Խ���п����뿪�������ﵽ��ά���������趙ס������ͨ������ʱ��Ҫ�������������Ŀ��������������������������������ױ�������ճ���������ƹ���ά�Ĺ����нӽ���άʱ����ά�����ӷ����Ӵ�ЧӦ����������ά�ϡ�ʵ���ϣ������Է۳�ͨ�����ֵ�����ʱ��������ЧӦ�ۺ����õĽ�����
���ˣ��ڿ���ѡ����Ҫ�����˻�����ѧ��ԭ��������ѡ����������ζ������һ���Ŀ���ǿ�ȵ������⣬��Ҫ���ؿ������賾Ч�ʺͺ����������Լ��������ͺţ��Ƿ������ʵ���ж�������ϵ����ء�
�۳���ը�ķ��������������롢й�������ƣ�������Ҫ�Ǹ��ݷ����۳���ը�ر������������ƣ������Ͻ���Դ�����Ƹ��־��硢���ͷ۳�Ũ�ȡ���ǿͨ���ȷ�ʽ��
2.2.3 ������ʩ
Ϊ�˾����ܵؼ��ٷ۳�Σ���������ó����豸(zhi)�ͽ��з����⣬����Ҫʵʩ���¹�����ʩ��(1)������ҵ��ʪ�ȡ���ǿͨ�綣(quan)���������������ĵȣ�(2)���ڷ۳���������10um���µ�С�������ɣ�����������������©�죬�۳��ͻ�ð����������ҵ����Ⱦ�����ˣ�Ӧȷ����ͷ�����ܱ��ԣ�(3)���漲Ϊ������Ա���÷�����Ʒ��������ԱҲҪ����ϰ�߰��漲(zhang)��ȷ����������Ʒ��(4)��ǿ���˷۳�֪ʶ�İ�ȫ��������ѵ�����߹��˶Է۳�Σ���ͷ��ε���ʶ����ǿ������Ա�����ұ�����ʶ��(5)�����з����豸(zhi)����ά����������֤���������У����ӷ������á�ͬʱҪͶ���ʽ𣬽(wu)��м������죬���߷����豸(zhi)�ķ���Ч�ʺ���ҵ�Զ���ˮƽ��
3���� ��
�������������������쳬ϸ�����İ�ȫ������Ҫ�Ƿ۳�Σ�������������Գ��β��ͷ۳���ը��Ӧ�ӳ����豸��ѡ������ʩ������ʩ��ʵʩ�Ͻ����ۺ�������