����Ŀǰ������Һ���ڵ������������ڳ���ʹ�ù����д����������еĴ���������ĸҺ֮���������ֳ�������������Һ�ij������ž����⣬����Ӱ���˴�����Һ�����ܣ�������������һֱ�����Ź��������о��ߣ�Ҳ��Ӱ��������Һ����Ӧ�õ���Ҫ�ϰ�֮һ��Ϊ�˽���������Һ�������ž۵����⣬������ѧ�߽����˴����о�����ѧ����Ҫ�Ǵ������������֣�һ�ǶԴ��Կ�����ѡ���Լ��Դ��Կ������и��ԣ������䷽�����Լ����Ӽ���ѡ����
������Ҫ���Ʊ����ղ������֣����ʻ�����Ϊ���Կ���������Ϊ��Һ������ż����Ϊ�������Լ���������������Ϊ�����������ø�����ĥ����ĥ��ɢ�ķ����Ʊ�������Һ�����������������ܣ��������Ʊ����������ϱȶԴ�����Һճ�ȡ������ȶ��Ժ��������ܵ�Ӱ�죬��ͨ����Դ����������ĥ��������ĥ�ۻ���ĥ����е�豸��
1��ʵ�鲿(chang)��
1.1��Ҫԭ��
�ʻ����ۣ�ƽ������Ϊ3.5um�����������ηֲ�������Ϊ99. 9qc�������˻���ѧ�ɷ�����˾���������ͣ��˶�ճ��Ϊ10mm2/s���Ĵ����⻯����������ż����KH560���Ͼ����ն������л��軯(peng)������˾���������������裨(bi)SPI�ͣ�ƽ������Ϊ20 nm���ȱ�����Ϊ640 mz��g������Ϊ99.5%�����������Ƽ�����˾����
1.2������Һ���Ʊ�
���ʻ�����������ż��������������һ���������Ϻ�������ĥ���У�����е���衢������ɢ��������ĥ����ĥ6h���ٰ��ʻ���������70�������ո������ں��ɡ��Ա��洦(po)�����ʻ�����Ϊ�����࣬�Լ�����Ϊ��ɢ�࣬���Ϻ�������ĥ���ڣ�������һ�����������������裬����е���衢(qu)������ɢ�������ø�����ĥ����ĥ��ɢ�ķ����Ʊ�������Һ����ĥ���Ʊ������У�����ʵ�������������趨(qu)��ĥ��ת�ٺ���ĥʱ�䣬���ϱȷֱ�ѡȡl��9��2:9��3:9��4:9����ʵ�飬(juan)����Ʒ����1��
1.3������Һ���ܲ���
1.3.1������Һ�ij����ȶ���
�����ȶ��Բ�����Ȼ�����������Ʊ��õĴ�����Һ��Ʒ������Ͳ�ڣ�ͨ��Ŀ����Ͳ����Ʒ�ֲ��ٷֱȼ�¼��ͬʱ���ij���������
1.3.2������Һ�������ܵIJ���
������Һ���㳡(guo)ճ�Ȳ��óɶ�������������NXS -11A��תճ�ȼƽ��в�����������Һ�ڴų����������ܵIJ������Ǿ���װ����NXS -11A��תճ�ȼƣ����дų�װ�ã����в�����
2������������
2.1������Һ���㳡(guo)ճ��
ͼ1Ϊ������Һ�ڼ�������Ϊ16.283 8��1ʱ���㳡ճ�ȣ���ͼ�п��Կ�����������Һ��ճ��������
�ϱȵ������������½��������Ĺ��̡��������ϱȵ����ӣ����㳡ճ��������֮��С�������ϱ�Ϊ3:9
ʱ���㳡(guo)ճ�ȴﵽһ����Сֵ����ճ��Ϊ0.9772 Pa -s�������ϱȴ���3;9�������㳡(guo)ճ��û�м�С��
���������ϱȵ����Ӷ�������
������Ϊ��������Ϊ������Һ���Ʊ������У�ͨ����ĥ�ķ��������ϵؼ��У���������ϡ�����������ż���ǿ�ȵļӴ���ϡ������Խ���ԡ����˴�����Һ�������ϱȵ����Ӷ�ʹ���ܵļ���Ӧ�����ӣ���ʹճ���������ϱȵ����Ӷ���С�����ǵ����ϱȴﵽһ��ֵ������ǿ�ļ���Ӧ�����ڳ�ʱ����ǿ��Ӧ���������´�����Һ�ᷢ��“���б���”��������ʹ�����ϱȽϴ��������£�ճ�Ȼᷢ������������
2.2������Һ�ij����ȶ���
��2�Ǵ�����Һ����l�ܺ��ij��������;���3���º����ž��������ӱ�2�п��Կ������������ϱȵ����ӳ������ʳ����ȼӿ����������Ĺ��̡�����MRF3 -3�����������죬����������������MRF3-1������MRF3-4��1.5������ͼl�ͱ�2���Կ�����4�������ij�����������ճ���кܺõĶ�Ӧ��ϵ����ճ��С�ij������ʿ죬ճ�ȴ�����������������MRF3 -3ճ����С�����������������죬MRF3-1��MRF3 -4ճ�������������������Ҹ���������ճ�Ƚ���MRF3 -3ճ�ȵ�1.5����
�ӱ�2�����Կ�����������Һ����3���º������ϱ�Ϊ3:9ʱ�����������������ﵽ21%�������ϱ�Ϊ1��9��4:9����Ʒ���ֳ��Ϻõij����ȶ��ԣ�������Ϊ14%������4����Ʒ�����ֳ����õ��ž��ȶ��ԣ��ް����������֣����ֳ����Գ�����������������Ϊ�����ٶȿ죬�γɳ��������ϴ��ij�����������������ٷ�ɢ����Ϊ���ȵ�����ϵͳ��
2.3������Һ����������
ͼ2Ϊ�ڼ�������Ϊ135.65 sһ�´�����Һ����Ӧ�����Ÿ�Ӧǿ�ȵĹ�ϵ���ߡ���ͼ2���Կ�����4��������Һ�ļ���Ӧ�������ŴŸ�Ӧǿ�ȵ����Ӷ�������������ͬ�ĴŸ�Ӧǿ���£�4����Ʒ����Ӧ��������ͬ��������Ϊ4��������Һ�������ʻ���������������ͬ��
ͼ3Ϊ�ڴŸ�Ӧǿ��Ϊ126.5 mTʱ������Һ����Ӧ�����������ʵĹ�ϵ����ͼ�п��Կ�����4��������Һ����Ӧ�����������ż������ʵ�������������������С��60s-1ʱ�����ż������ʵ���������Ӧ�������ýϿ죬���������ʴ���60 S-Iʱ������Ӧ�����������ʵ����������������Ƽ�����Ԥ�����ż������ʵ��Ӵ���Ӧ����������ij��ֵ�����ڸ��������£��������ʶԼ���Ӧ����Ӱ����С��
���⣬�ڽϵͼ������ʵ������£�MRF3 -2��MRF3 -4���ֳ��ļ���Ӧ�����Ը�������������Ʒ���ڽϸ��������£�MRI;3 -2��MRF3 -4��Ȼ���ֽϸߵļ���Ӧ������ƷMRF3 -3��ʱҲ���ֳ��ϸߵļ���Ӧ��������MRF3-1�ڽϸ��������£�����Ӧ�����½����ƣ��ҽ�������Ʒ����Ӧ����С��������Ϊ�����ӴŸ�Ӧǿ�Ƚ�Сʱ��������Һ���ɵ���״�ṹ����ɢ��ʹ֮���κͶ��������ļ�����Ҳ��С������4����Ʒ���ֳ��ļ���Ӧ�����ߣ�������ƷMRF3-3��������Ʒ����ճ�Ƚ�С����ʹ����ͬ�ļ�������֮���������ļ���Ӧ����С����ƷMRF3-1�����ļ���Ӧ����������ƷҪС������������Ϊ�����Ʊ������У���ʹ�õ����ϱȽ�С��û�дﵽ���õķ�ɢЧ������ʹ�ڴų������£������γɴż��������γɵĴż��������٣��Ӷ������ļ���Ӧ����С��
3������
(1)������Һ�ij����ȶ��������������ϱȵ����Ӷ��½������������ϱȴﵽһ��ֵ���������ϱȵ����ӳ����ȶ��Ա��á�
(2)������Һ���㳡(guo)ճ�������������ϱȵ����ӣ�ճ����С�������ϱ�Ϊ3:9ʱ���㳡(guo)ճ����С��ֻ��0.977 2 Pa��s�������㳡(guo)ճ���������ϱȵ����ӳ��������ơ�
(3)��һ���ļ��������£�������Һ�ļ���Ӧ�����ŴŸ�Ӧǿ�ȵ��������������ϱȶԴ�����Һ����������Ӱ�첻����
(4)�ڴ�����Һ�Ʊ������У����ϱȶԴ�����Һ���㳡ճ�Ⱥͳ����ȶ����нϴ���Ӱ�죬����ͬ�䷽���������£�����ͨ���ı����ϱȵķ������ı�������Һ���㳡ճ�Ⱥͳ����ȶ��ԡ�
