ʯӢ��Ҫ�ɷ���S102��Ī��Ӳ��Ϊ7������ǿ�����Ժͼ��õĵ���Ե�ԡ��ߴ��ȵ�ʯӢ�����Ǹ߸���ֵ��ʯӢ��ϸ��Ʒ��Ӧ�÷�Χ�����漰(peng)��ԭ����Ӧ��Sio2��������ҵ���Ǽ��߹�ҵӦ��ǰ�������ײ��ϡ��ڵ��ӷ�װ���ϡ��߷��Ӹ��ϲ��ϡ����ϡ�Ϳ�ϡ������ϡ��մɡ���ճ�����������ϵ�������ʯӢ�����Ѿ���Ϊ��ͳ��Ʒ�������������Ͳ��ϡ�
������ĥ���Ǹ�Ч�ͺ��Ƹ�ʯӢ���۵��·�����������ʯӢӲ�Ƚϴ���������ĥ��Ҫ����Ӳ�ȸ�������ĥ���ʡ���ʹ���ˣ���ĥ��Ҳ���Ա�������������Ⱦ�����⣬��ȻʯӢ�г��������ݵȰ����塣���˹��ϳɵ�siO���������ȣ���е��ĥ���Ʊ���ʯӢ�����Խ���Щ��������ȥ���Թ�ҵӦ�ô���Ӱ�졣Ϊ�˱�����ĥ������������Ⱦ��ȥ����ȻʯӢ�е����ݵȣ����ĸ��ݸ�������ʹʯӢ���ѵ�ԭ��������������ĥ�ķ�����������ͨӲ�ȵ���ĥ�����Ʊ���ʯӢ���ۣ���ȡ����һ����չ��
2��ʵ��ԭ���������豸
ʵ��ԭ��Ϊ����ij�ز���Ȼ��״ʯӢ������ɫ���������������������ʵرȽϴ��������ⶨ��Sioz����Ϊ99. 51%��
�����豸ѡ���Ϻ���̩��¯��������1600����������¯�����պ���ʯӢ���屢(lv)Ƭѡ��ƫ�������۲���������ĥ�豸ѡ������ʽ��ĥ����ʯӢ���ۼ���ѡ���Ϻ���������˾������AJ-����ԭ������������ͨ����Դ������ĥ��������ĥ�ۻ���ĥ����е�豸(zhi)��
3��ʵ ��
3.1�� ��
��ȻʯӢ����Ӳ��ĥ��Ϊ������ĥ�Ѷȣ����ø������յķ�������ʯӢ��Ԥ��������ʯӢԭ�Ϸ��˵�¯�������¿�ʼ��30��/h�������£���������48h���¶�����1460Cʱ����72h��Ȼ����30C/h���ʽ���48h�����¡�
���պ���ʯӢ�ɰ�ɫ��״�����������ͣ��ܶȼ�С��������������ɫ����״���ɣ����ֿɽ������������顣(cu)
�����պ���ʯӢ�����Ƴɱ�Ƭ�������¹۲죬����Ϊ0.19mm����ƫ���¹۲쵽��ϸ����״���ơ�����ƫ������Ƭ���Կ���ʯӢһ���Ҹ���ɫ����ת��̨���Թ۲쵽���༫ϸ����������ת�����仯��������˵��ʯӢ�ڳ����ĸ������������Ͳ������ƴ�ʹ���������ѿ���
��������ʹʯӢ�����ѵ�ԭ�����Ը�����������ԭ�����н��͡������ﾧ�����Ⱥ��ij��Ȼ����ӣ����ķ���Ҳ���仯�����м��ǵ�С�仯(chao)�����������������仯�����ھ����е�ԭ�ӵ������������ļ�г��λ����ԭ�Ӽ����仯���仯(chao)���������仯�ķ��Ȳ�ͬ��ԭ�Ӽ�����С�ı�������ԭ�Ӽ������ӵı���ҪС����Χ��ƽ��λ�õ�λ�ܱ仯�Dz��ԳƵġ�ԭ�ӵ��������¶����߶����ߣ�ʹ����ԭ��ƫ����ƽ��λ�ã�Ư�Ƶ���ԭʼ״̬����ֵ�ĵط����Ӷ�������������������
�������ͺ��ܵ�ͻȻ��ȴ�����ֿ��Իָ�ԭ�Σ���������ֻ��������һ���̶ȡ���������Ȼ�ڲ����ڳ������ƺ;���ȱ�ݣ�ֱ���ƻ������ˣ��������յ��¿�����������Ҫԭ��Ϊ�ȳ��������䡢(bian)�ڲ��������仯�Լ���������Ӧ�����������¡��ȳ��������Ǹ������ڲ�����ȴ���������¶Ȳ�ͬ���������ͺ��������ɡ��������������ȴ��������С��������ھ����仯(chao)��������Ӧ�����¡����⣬�����еİ���������ʱ�������ӣ�Ҳ���ڿ��������ڲ���Ӧ�������ڵ����������Եľ��壬�������ͻ����������о�����Ҳ������Ӧ������Щ���ض������������������մ���ʱ���ѡ�
3.2������ĥ�Ʊ�ʯӢ����
�����պ���ʯӢ��ĥ��200Ŀϸ�ȣ���������ʽ��ĥ���մ���ĥ���У���ֱ��2mm�������մ������ʺ�����ˮ���趨����ʽ��ĥ��ת��Ϊ250r/min����ĥ2h��
���Ƶ�ʯӢ���۾��Ϻ���������˾ԭ����������Ƭ���������ó�����������������Ϊ126nm����С����Ϊ12nm��ƽ������Ϊ43nm��
ʵ����������������Ӳ����ʯӢ������������Ϊ��ĥ���ʣ�����2h����ĥ�����ܽ�ʯӢ��ĥΪƽ������Ϊ43nm��ϸ�ۣ�˵�����ն���������ĥЧ�������˺ܺ����á�������ԭ������ʯӢ�ڸ������ڲ��İ�����������Ӧ���Լ���������Ӧ�����ɲ����������������ƣ��Ӷ�����ʯӢ�������ѡ�
��Һ��������ȻʯӢ�п۴��ڵ����ʣ�����ˮ����ȻʯӢ������Ҫ����Һ���ʣ�����ˮ�ĺ�����Ӧ����ʯӢ����ʱ������Ӱ�����������������������ۣ�����Si02����Ϊ99,97%����ԭ���������ߡ���ԭ����Ҫ��ԭ�������ݼ�����ˮ�����ڸ������պ��������¡�
ʯӢ�������ߵ���ʵҲ˵�����������պ�����ĥʯӢ�ۣ�ʯӢ��ĥ�ѶȽ��ͣ����Ա��ͳ��ĥ�г��ֵ�������Ⱦ���⡣
���ˣ����ݱ�������������ͳ�ϲ��û�ѧ�������Ƶõĸߴ���SiO2���ۣ����ڲ�������������������ĥ�����ϵķ���Ҳ�����Ʊ���
4���� ��
ͨ����������ĥ�����ϣ����Խ���ʯӢ��ĥ�Ѷȣ�����ĥ��Ч�ʣ�����ĥ������ĥ���ʶ�ԭ�ϵ���Ⱦ����еĥ��������ԭ�ϴ��ȣ���һ�ֿ��еĸߴ�ʯӢ�����Ʊ�������
